600紫外曝光机
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机构信息
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仪器设备
- 仪器设备基本信息
| 仪器设备名称： | 600紫外曝光机 | 英文名称： | |
| 所属单位： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 启用日期： | |
| 原值： | 136.0 | 产地国别： | 中国 |
| 仪器设备来源： | 购置 | 仪器设备类别： | 专用 |
| 仪器大类： | 分析仪器 | 仪器中类： | 光谱仪器 |
| 仪器小类： | 激光光谱仪 | ||
| 主要技术指标： | 光束口径650mm*650mm,有效曝光面积：600mm*600mm,分辨力3μm，对准精度：±1.5μm，对准显微镜中心距：100mm-600mm可调，掩模尺寸650mm*650mm，样片尺寸：直径φ200mm-φ600mm厚度0.2mm-20mm，光源均匀性：±15%，掩模相对于样片运动行程：X:15mm Y:±15mm θ：±10度，曝光面光强：＞10mw/cm2（i、g、h线），汞灯功率：2000w(直流）。 | ||
| 主要功能： | |||
| 主要学科领域： | 物理学,科学研究 | ||
- 仪器设备服务信息
| 服务领域： | 该设备是从事微细加工的支撑平台，其采用高强度紫外光源及光学系统实现大面积高均匀照明，实现由工件台位移控制对样片定位，通过对准系统使掩膜板与样片对准曝光实现微结构光刻加工。 | 应用行业： | |
| 服务内容（分析测试项目等）： | 该设备是从事微细加工的支撑平台，其采用高强度紫外光源及光学系统实现大面积高均匀照明，实现由工件台位移控制对样片定位，通过对准系统使掩膜板与样片对准曝光实现微结构光刻加工。 | 参考收费标准： | 面议 |
| 服务时间： | 120 | ||
| 服务资料： | |||
| 服务预约网址： | |||
- 联系人信息
| 姓名： | 刘杨杨 | 电话： | 02988887812 |
| 通讯地址： | |||
仪器关联服务
- 检验检测
- 实验服务
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