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共台（套）仪器

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高温反偏试验系统

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半导体分立器件测试系统

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集成电路高温动态试验系统

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分立器件综合老化系统

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超景深数字显微镜

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傅里叶红外变换光谱仪

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荧光光谱仪

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微反应量热仪

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全自动气体吸附仪

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拉曼光谱仪

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场发射透射式电子显微镜

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原子力显微镜

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